La photo-polymérisation à deux photons pour réaliser des cristaux photoniques avec des motifs aussi petits que 65nm

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La fabrication de structures 3D de dimensions nanométriques à partir de polymères passe généralement par l’utilisation de la lithographie par faisceaux d’électrons ou extrême UV. Une autre technique qui consiste à utiliser la photopolymérisation à deux photons permet de fabriquer des micro-objets 3D avec une grande résolution, inférieure à la centaine de nanomètres, car dans ce procédé, la polymérisation n’a lieu qu’autour du point focal du laser. Une équipe du Georgia Institute of Technology (Atlanta, Géorgie) a utilisé cette voie pour réaliser des cristaux photoniques qui présentent des motifs dont les dimensions sont aussi petites que 65 nm. L’excitation laser est faite de pulses femtoseconde à la longueur d’onde de 520 nm.

L’équipe a étudié l’influence de la vitesse de balayage du faisceau d’excitation et de sa puissance sur la taille des motifs, et déterminé la relation dose utilisée - dimensions obtenues, qui apporte par ailleurs des informations sur le processus d’excitation. Les chercheurs ont montré qu’il pouvaient fabriquer ainsi des cristaux photoniques de type tétragonal faces centrées faits de lignes d’environ 65 nm d’épaisseur et de périodicité latérale de 500 nm. Ce type d’échantillon qui peut être fabriqué en 10 minutes forme un cristal photonique de bande interdite photonique de 700 - 1000 nanomètres.

L’utilisation de cette technologie pourrait s’avérer utile pour fabriquer également des MEMS ou d’autres structures mécaniques complexes qui nécessitent une grande précision.

Source :

http://www.opticsexpress.org/viewmedia.cfm?id=131204&seq=0

Pour en savoir plus, contacts :


- Entreprise crée à partir de la technologie développée en laboratoire : http://fpmicro.com/
- Vidéo montrant le processus de fabrication : http://fpmicro.com/images/microfabrication.mov
Code brève
ADIT : 42208

Rédacteur :

Romaric Fayol - deputy-phys.mst@consulfrance-houston.org - Roland Hérino - attache-phys.mst@consulfrance-houston.org

Voir en ligne : http://www.bulletins-electroniques….